晶圓退火工藝是為了改善晶圓的材料性質(zhì)
選擇適當(dāng)?shù)碾妷簩?duì)于退火工藝至關(guān)重要。過(guò)高的電壓可能導(dǎo)致晶圓過(guò)熱
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